一种磁控溅射设备及其阴极靶材组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520151396.X

申请日：

2015-03-17

公开(公告)号：

CN204474752U

公开(公告)日：

2015-07-15

发明(设计)人：

彭柱根伍能罗洪娜

申请人：

申请人地址：

570125 海南省海口市龙华区滨海大道103号财富广场20层

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李海建

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	授权	授权
2019-03-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20190212 变更事项:专利权人变更前权利人:海南汉能薄膜太阳能有限公司变更后权利人:汉能光伏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:570125 海南省海口市龙华区滨海大道103号财富广场20层变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室
2019-03-26	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20190307 变更事项:专利权人变更前权利人:汉能光伏科技有限公司变更后权利人:汉能移动能源控股集团有限公司变更事项:地址变更前权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道综合办公区2号楼107室

共 50 条

[1]

磁控溅射阴极靶材的密封结构 [P].

陈诚 ;

邵帅 ;

刘西宁 .

中国专利 :CN203080058U ,2013-07-24

[2]

一种磁控溅射设备靶材 [P].

毛成飞 ;

洪耀 ;

张民井 ;

曹瑞丰 ;

郭丰 ;

高裕弟 ;

孙剑 .

中国专利 :CN206376000U ,2017-08-04

[3]

磁控溅射阴极靶材的密封结构 [P].

陈诚 ;

邵帅 ;

刘西宁 .

中国专利 :CN103060766A ,2013-04-24

[4]

一种靶材安装结构、磁控溅射设备及磁控溅射方法 [P].

卢静 .

中国专利 :CN112899627B ,2021-06-04

[5]

一种高利用率低成本的平面阴极靶材、磁控溅射设备 [P].

徐伯永 .

中国专利 :CN223176185U ,2025-08-01

[6]

一种阴极体组件、磁控溅射阴极及磁控溅射装置 [P].

梅艳慧 .

中国专利 :CN208649457U ,2019-03-26

[7]

一种阴极体组件、磁控溅射阴极及磁控溅射装置 [P].

梅艳慧 .

中国专利 :CN110714186A ,2020-01-21

[8]

一种磁控溅射设备的阴极冷却装置 [P].

杨继泽 ;

刘万学 ;

张兵 ;

王巍 ;

程明辉 ;

左腾 ;

徐柏章 ;

曲爽 .

中国专利 :CN201530858U ,2010-07-21

[9]

靶材组件结构和磁控溅射系统 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

吴剑波 .

中国专利 :CN105755437A ,2016-07-13

[10]

一种用于磁控溅射的阴极靶 [P].

杨兆方 ;

宁卫 .

中国专利 :CN2072086U ,1991-02-27

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