缺陷检测方法以及缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810173355.5

申请日：

2008-11-13

公开(公告)号：

CN101464418A

公开(公告)日：

2009-06-24

发明(设计)人：

冈山敏之

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

马少东;徐恕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-05-01	授权	授权
2009-06-24	公开	公开
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713131775 IPC(主分类):G01N 21/956 专利号:ZL2008101733555 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市

共 50 条

[1]

缺陷检测方法以及缺陷检测装置 [P].

畠堀贵秀 ;

田窪健二 .

中国专利 :CN107462581B ,2017-12-12

[2]

缺陷检测方法以及缺陷检测装置 [P].

中岛隆宏 .

中国专利 :CN103988070B ,2014-08-13

[3]

缺陷检测方法以及缺陷检测装置 [P].

畠堀贵秀 ;

长田侑也 ;

田窪健二 .

中国专利 :CN109030624B ,2018-12-18

[4]

缺陷检测装置以及缺陷检测方法 [P].

海老田孝夫 ;

新家英正 .

中国专利 :CN106461567B ,2017-02-22

[5]

缺陷检测方法以及缺陷检测装置 [P].

史胡祎 .

中国专利 :CN119887716A ,2025-04-25

[6]

缺陷检测装置、缺陷检测方法以及程序 [P].

上田佳央 ;

冈本康平 .

中国专利 :CN111373254A ,2020-07-03

[7]

缺陷检测装置、缺陷检测方法以及程序 [P].

上田佳央 ;

冈本康平 ;

山野正树 ;

长谷川昇 ;

青木宏道 .

中国专利 :CN110268259A ,2019-09-20

[8]

缺陷检测装置、缺陷检测方法 [P].

永田泰昭 ;

佐藤雄伍 .

中国专利 :CN104350381B ,2015-02-11

[9]

缺陷检测方法以及装置 [P].

畠堀贵秀 ;

田窪健二 .

中国专利 :CN112154320A ,2020-12-29

[10]

缺陷检测装置、缺陷修复装置、缺陷检测方法 [P].

山本修平 ;

中西秀信 ;

植木章太 .

中国专利 :CN102279189B ,2011-12-14

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