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传送臂、半导体设备及传送晶圆的方法
被引：0
申请号：
CN202110808321.4
申请日：
2021-07-16
公开(公告)号：
CN115621189A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
汪舒琛
杨耿豪
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
赵新龙;阚梓瑄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 公开 | 公开 |
| 2023-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20210716 |