点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510982725.X

申请日：

2015-12-24

公开(公告)号：

CN105466668A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

唐锋王向朝冯鹏郭福东卢云君

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	授权	授权
2016-04-06	公开	公开
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658486835 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:201510982725X 申请日:20151224

共 50 条

[41]

基于光纤点衍射干涉实验光线追迹的像差测量技术与装置 [P].

陈凌峰 ;

陈伟雄 ;

张旭升 .

中国专利 :CN114018551A ,2022-02-08

[42]

光学系统中像差校正的系统的方法 [P].

卢克·斯图尔特 ;

格伦·韦恩·巴克斯特 ;

史蒂文·詹姆斯·弗里斯特 .

中国专利 :CN111190246A ,2020-05-22

[43]

光学系统中像差校正的系统的方法 [P].

卢克·斯图尔特 ;

格伦·韦恩·巴克斯特 ;

史蒂文·詹姆斯·弗里斯特 .

中国专利 :CN114594550A ,2022-06-07

[44]

光学系统中像差校正的系统的方法 [P].

卢克·斯图尔特 ;

格伦·韦恩·巴克斯特 ;

史蒂文·詹姆斯·弗里斯特 .

中国专利 :CN105359010A ,2016-02-24

[45]

大口径空间光学系统外场波前像差检测方法 [P].

闫锋 ;

张学军 .

中国专利 :CN103335824B ,2013-10-02

[46]

标线逆反射测量仪的光学系统 [P].

王昱琳 .

中国专利 :CN218271944U ,2023-01-10

[47]

检测大口径空间光学系统波前像差的方法及系统 [P].

程强 ;

魏海松 ;

薛栋林 ;

胡海翔 ;

张学军 .

中国专利 :CN108106816A ,2018-06-01

[48]

光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法 [P].

闫观勇 ;

王向朝 ;

彭勃 ;

徐东波 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102200697A ,2011-09-28

[49]

一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置 [P].

齐月静 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

张清洋 ;

李兵 ;

王宇 .

中国专利 :CN206990194U ,2018-02-09

[50]

光刻机成像光学系统像差现场测量方法 [P].

王帆 ;

马明英 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100474115C ,2006-11-15

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