点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510982725.X

申请日：

2015-12-24

公开(公告)号：

CN105466668A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

唐锋王向朝冯鹏郭福东卢云君

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	授权	授权
2016-04-06	公开	公开
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658486835 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:201510982725X 申请日:20151224

共 50 条

[21]

一种波像差测量标记及波像差测量方法 [P].

马明英 ;

段立峰 .

中国专利 :CN103472676B ,2013-12-25

[22]

光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法 [P].

金春水 ;

王丽萍 ;

张宇 .

中国专利 :CN102261985A ,2011-11-30

[23]

一种通过光线追迹求解光学系统波像差的方法 [P].

鞠国浩 ;

张昊远 ;

张春悦 ;

王帅会 .

中国专利 :CN116296279B ,2025-07-18

[24]

基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法 [P].

段学霆 ;

陈建军 ;

付兴 ;

王鹏 ;

李华 .

中国专利 :CN102368114A ,2012-03-07

[25]

光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

李鹏 ;

刘洋 ;

曹译莎 .

中国专利 :CN113639629A ,2021-11-12

[26]

一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法 [P].

谢耀 ;

于杰 ;

王丽萍 ;

郭本银 ;

王辉 ;

周烽 ;

金春水 .

中国专利 :CN106338379A ,2017-01-18

[27]

一种深紫外光学系统波像差检测装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

齐威 ;

王宇 ;

周翊 .

中国专利 :CN206440452U ,2017-08-25

[28]

一种点衍射干涉面形检测装置及检测方法 [P].

冯鹏 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN118758170A ,2024-10-11

[29]

一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机 [P].

董冠极 ;

马明英 .

中国专利 :CN112130417A ,2020-12-25

[30]

成像光学系统像差的现场测量方法 [P].

王帆 ;

王向朝 .

中国专利 :CN1570585A ,2005-01-26

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