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一种半导体晶片弧面粗糙度检查装置
被引：0
申请号：
CN202210491489.1
申请日：
2022-05-07
公开(公告)号：
CN115014246A
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
孙毅
申请人：
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F1-605/606室
IPC主分类号：
G01B1130
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20220507 |
| 2022-09-06 | 公开 | 公开 |