场效应晶体管、半导体器件、其制造方法和半导体晶体生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200580018798.1
申请日
2005-06-09
公开(公告)号
CN100501951C
公开(公告)日
2007-05-16
发明(设计)人
平田宏治 小嵜正芳 千田昌伸 柴田直树
申请人
申请人地址
日本爱知县
IPC主分类号
H01L21338
IPC分类号
H01L29778 H01L29812
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人
顾晋伟;刘继富
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[41]
制造半导体器件的鳍式场效应晶体管的方法 [P]. 
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[43]
半导体晶体生长方法、半导体晶体基板及其制造方法 [P]. 
冈久拓司 ;
川濑智博 ;
上村智喜 ;
西冈志行 ;
荒川聪 .
中国专利 :CN101440521A ,2009-05-27
[44]
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催信圭 .
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[49]
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[50]
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