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化学气相沉积室制品

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980098030.1
申请日：
2019-05-27
公开(公告)号：
CN114026263A
公开(公告)日：
2022-02-08
发明(设计)人：
M·G·V·明斯特 G·宋
申请人：
申请人地址：
荷兰海尔蒙德
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
C23C16458 H01L21687 C04B4153 C04B35565
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
南霆;李有财
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-02-08 公开 公开
2022-06-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20190527
共 50 条
[1]
化学气相沉积室制品 [P]. 
M·G·V·明斯特 ;
G·宋 .
:CN114026263B ,2025-03-25
[2]
多室化学气相沉积系统 [P]. 
乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;
米格尔·索尔达娜 ;
布雷特·斯诺登 ;
尤利·拉什科夫斯基 ;
迈克尔·佩奇 .
中国专利 :CN206127419U ,2017-04-26
[3]
多室化学气相沉积系统 [P]. 
乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;
米格尔·索尔达娜 ;
布雷特·斯诺登 ;
尤利·拉什科夫斯基 ;
迈克尔·佩奇 .
中国专利 :CN106498366A ,2017-03-15
[4]
多室化学气相沉积系统 [P]. 
乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;
米格尔·索尔达娜 ;
布雷特·斯诺登 ;
尤利·拉什科夫斯基 ;
迈克尔·佩奇 .
中国专利 :CN206646165U ,2017-11-17
[5]
化学气相沉积的碳化硅制品 [P]. 
M·A·皮克林 ;
J·L·特里巴 ;
K·D·莱斯 .
中国专利 :CN101429048A ,2009-05-13
[6]
化学气相沉积腔室 [P]. 
余华华 .
中国专利 :CN110016656A ,2019-07-16
[7]
化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P]. 
酒井士郎 ;
高松勇吉 ;
森勇次 ;
直井弘之 ;
H·X·王 ;
石滨义康 ;
纲岛丰 .
中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17
[8]
化学气相沉积室钝化方法 [P]. 
迈克尔·S·阿明 ;
约瑟夫·T·希尔曼 ;
格特·洛伊申克 ;
迈克尔·沃德 ;
图鲁尔·亚沙尔 .
中国专利 :CN1319146A ,2001-10-24
[9]
化学气相沉积优化腔室 [P]. 
王一喆 ;
岳振明 ;
宫建红 ;
李玉森 ;
高建东 ;
高军 .
中国专利 :CN110241401A ,2019-09-17
[10]
化学气相沉积室的清洁 [P]. 
曹车正 ;
郑慧峰 ;
洪图 ;
伊凡·亚历山大·桑切斯 ;
季春海 ;
李明 .
美国专利 :CN120035689A ,2025-05-23
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