化学气相沉积优化腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910619953.9

申请日：

2019-07-10

公开(公告)号：

CN110241401A

公开(公告)日：

2019-09-17

发明(设计)人：

王一喆岳振明宫建红李玉森高建东高军

申请人：

申请人地址：

264209 山东省威海市文化西路180号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256

代理人：

陈宇瑄

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20190917
2019-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20190710
2020-06-12	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/458 登记生效日:20200522 变更事项:申请人变更前权利人:山东大学变更后权利人:山东大学变更事项:地址变更前权利人:264209 山东省威海市文化西路180号变更后权利人:264209 山东省威海市文化西路180号变更事项:申请人变更后权利人:山东大学苏州研究院
2019-09-17	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积腔室 [P].

余华华 .

中国专利 :CN110016656A ,2019-07-16

[2]

化学气相沉积设备的反应腔室 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202450155U ,2012-09-26

[3]

化学气相沉积设备的反应腔室 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074602A ,2013-05-01

[4]

一种化学气相沉积腔室 [P].

窦沛静 ;

丁媛 ;

李英英 ;

罗怡蕾 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN221971675U ,2024-11-08

[5]

工艺腔室及化学气相沉积设备 [P].

杨晓亮 ;

公茂江 ;

杜罡 .

中国专利 :CN222990213U ,2025-06-17

[6]

反应腔室以及化学气相沉积设备 [P].

顾武强 ;

潘琦 .

中国专利 :CN104878367A ,2015-09-02

[7]

反应腔室及化学气相沉积设备 [P].

杨盟 .

中国专利 :CN101921995B ,2010-12-22

[8]

化学气相沉积反应腔 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 .

中国专利 :CN112176324A ,2021-01-05

[9]

化学气相沉积反应腔 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 .

中国专利 :CN213388891U ,2021-06-08

[10]

化学气相沉积反应腔 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 .

中国专利 :CN112176324B ,2025-03-25

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