一种用于碳化硅化学机械抛光的抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010050280.2

申请日：

2020-01-16

公开(公告)号：

CN111234705A

公开(公告)日：

2020-06-05

发明(设计)人：

王家雄

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

梁炎芳;谢亮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20200116
2020-06-05	公开	公开
2022-07-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20200605

共 50 条

[1]

一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法 [P].

倪自丰 ;

滕康 ;

陈国美 ;

白亚雯 .

中国专利 :CN107129762A ,2017-09-05

[2]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[3]

用于碳化硅晶片硅表面化学机械抛光的抛光液及抛光方法 [P].

孙韬 ;

王汉强 ;

步峥峥 ;

王雪含 .

中国专利 :CN113881349A ,2022-01-04

[4]

一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN116240550B ,2025-04-15

[5]

一种用于碳化硅的化学机械抛光液及其制备方法 [P].

张辰彬 ;

罗光红 ;

张育玮 ;

刘洋 .

中国专利 :CN120574527A ,2025-09-02

[6]

一种用于钨化学机械抛光的抛光液 [P].

王晨 ;

徐春 .

中国专利 :CN102051126A ,2011-05-11

[7]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[8]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[9]

用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液 [P].

侯军 ;

程宝君 ;

吴聪 .

中国专利 :CN101671528A ,2010-03-17

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802A ,2021-06-22

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