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被加工物的加工方法、蚀刻装置和激光加工装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910039066.4
申请日：
2019-01-16
公开(公告)号：
CN110064849B
公开(公告)日：
2019-07-30
发明(设计)人：
高桥宏行
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2178
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-30 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/364 申请日:20190116 |
| 2023-01-13 | 授权 | 授权 |