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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-09-17 | 授权 | 授权 |
| 2012-11-21 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/762 变更事项:专利权人 变更前:北京燕东微电子有限公司 变更后:北京燕东微电子有限公司 变更事项:地址 变更前:100015 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号 变更后:100020 北京市朝阳区东直门外西八间房 |
| 2013-01-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101378922552 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011101268324 申请日:20110517 |
| 2015-08-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101719032206 IPC(主分类):H01L 21/762 专利号:ZL2011101268324 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:北京燕东微电子有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:100015 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号 登记生效日:20150717 |