镀膜治具、镀膜装置及镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810304924.5

申请日：

2008-10-14

公开(公告)号：

CN101724813A

公开(公告)日：

2010-06-09

发明(设计)人：

张耕铭

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1414

IPC分类号：

C23C1434 G02B702

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-28	授权	授权
2010-06-09	公开	公开
2016-11-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101690188835 IPC(主分类):C23C 14/14 专利号:ZL2008103049245 申请日:20081014 授权公告日:20110928 终止日期:20151014
2011-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101035093887 IPC(主分类):C23C 14/14 专利申请号:2008103049245 申请日:20081014

共 50 条

[41]

托盘机构、镀膜装置及镀膜方法 [P].

李志 ;

宁艳华 ;

王俊朝 ;

李亚文 ;

宁志升 ;

张五平 ;

李业涛 ;

唐圭 ;

唐太家 ;

梁剑铭 ;

李金萍 ;

高云峰 .

中国专利 :CN115369383A ,2022-11-22

[42]

治具、曲面结构件、曲面结构件镀膜方法及镀膜装置 [P].

刘欣 ;

张志丹 ;

高孝裕 .

中国专利 :CN112095086A ,2020-12-18

[43]

基板镀膜载具及基板镀膜方法 [P].

董洪超 ;

刘亮 .

中国专利 :CN106567051A ,2017-04-19

[44]

磁控溅射镀膜方法、镀膜产品及镀膜装置 [P].

李翔 ;

白展逢 ;

袁红霞 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119663209A ,2025-03-21

[45]

镀膜装置及镀膜调整方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118854228B ,2025-02-11

[46]

镀膜装置及镀膜调整方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118854228A ,2024-10-29

[47]

背装镀膜治具 [P].

陆张武 ;

徐征驰 ;

黄敏 ;

徐勇军 ;

李恭剑 .

中国专利 :CN210140625U ,2020-03-13

[48]

一种镀膜装置及镀膜方法 [P].

卢佳毅 .

中国专利 :CN107937869A ,2018-04-20

[49]

一种镀膜装置及镀膜方法 [P].

周学文 ;

李周坤 .

中国专利 :CN118814111A ,2024-10-22

[50]

移动靶镀膜装置及镀膜方法 [P].

钱国平 ;

井杨坤 ;

吴成业 ;

王备 ;

季雨 .

中国专利 :CN105483619A ,2016-04-13

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