一种管内化学气相沉积制备薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310459850.3

申请日：

2013-09-29

公开(公告)号：

CN103484829B

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

赵松张永辉肖志超侯卫权苏君明

申请人：

申请人地址：

710075 陕西省西安市高新区高新路42号金融大厦1802室

IPC主分类号：

C23C1604

IPC分类号：

C23C1644 C23C1654

代理机构：

西安创知专利事务所 61213

代理人：

谭文琰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567135185 IPC(主分类):C23C 16/04 专利申请号:2013104598503 申请日:20130929
2016-04-20	授权	授权
2014-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种管内化学气相沉积法制备光纤预制棒包层的方法 [P].

夏祖明 ;

徐江河 ;

冯杨 ;

廉正刚 ;

皮亚斌 .

中国专利 :CN111285599A ,2020-06-16

[2]

化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法 [P].

杨峰 ;

刘羊 ;

曹林 ;

王和风 ;

杨雁培 ;

陈杨 ;

冯锡文 ;

符小弟 ;

尹士平 .

中国专利 :CN119776795B ,2025-11-25

[3]

化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法 [P].

杨峰 ;

刘羊 ;

曹林 ;

王和风 ;

杨雁培 ;

陈杨 ;

冯锡文 ;

符小弟 ;

尹士平 .

中国专利 :CN119776795A ,2025-04-08

[4]

化学气相沉积法制备薄膜的装置 [P].

董才士 .

中国专利 :CN1940131A ,2007-04-04

[5]

一种化学气相沉积方法 [P].

戴煜 ;

胡祥龙 ;

胡高健 .

中国专利 :CN103343332A ,2013-10-09

[6]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[7]

一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备 [P].

王晨森 .

中国专利 :CN206052151U ,2017-03-29

[8]

一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备 [P].

马利红 ;

曾永远 ;

李翀 .

中国专利 :CN203096166U ,2013-07-31

[9]

一种化学气相沉积法制备薄膜装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112267104A ,2021-01-26

[10]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

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