一种铜蚀刻液及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911383374.5
申请日
2019-12-28
公开(公告)号
CN110904456A
公开(公告)日
2020-03-24
发明(设计)人
章晓冬 刘江波 童茂军
申请人
申请人地址
215124 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园尹中南路1088号4幢
IPC主分类号
C23F118
IPC分类号
H05K306
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
巩克栋
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[11]
一种中性铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P]. 
周志强 ;
袁明军 ;
徐瑶 .
中国专利 :CN119859802A ,2025-04-22
[12]
一种高蚀刻因子的铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P]. 
侯军 ;
武文东 ;
孙昊然 ;
张亚男 ;
赵晓莹 ;
田继升 ;
王凯旋 .
中国专利 :CN120888934A ,2025-11-04
[13]
一种铜蚀刻液及蚀刻液的制备方法、蚀刻方法、应用 [P]. 
徐杨 ;
李涛 ;
朱龙 ;
殷福华 ;
邵勇 ;
陈林 ;
任奕宇 ;
顾梦佳 .
中国专利 :CN117802502A ,2024-04-02
[14]
一种铜蚀刻液及其应用 [P]. 
王毅明 ;
朱霞 .
中国专利 :CN107012465A ,2017-08-04
[15]
铜钼蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P]. 
张伟明 ;
姜欣奕 ;
章学春 ;
衡京 ;
聂航 ;
刘明辉 .
中国专利 :CN120519863A ,2025-08-22
[16]
一种铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
刘猛 ;
王金城 ;
张建元 ;
乔正收 ;
马海文 ;
崔文亮 ;
张坤 .
中国专利 :CN118814166A ,2024-10-22
[17]
一种铜蚀刻液及其制备方法 [P]. 
钟昌东 ;
叶瑞 ;
贺兆波 ;
欧阳克银 ;
张庭 ;
张演哲 ;
黄锣锣 ;
黎鹏飞 ;
王荣 ;
彭俊杰 .
中国专利 :CN116240547B ,2024-03-12
[18]
蚀刻液及其制备方法和应用 [P]. 
周志强 ;
袁明军 ;
李治文 ;
杜小林 ;
胡秋雨 ;
刘彬云 .
中国专利 :CN113957441B ,2024-01-02
[19]
蚀刻液及其制备方法和应用 [P]. 
周志强 ;
袁明军 ;
李治文 ;
杜小林 ;
胡秋雨 ;
刘彬云 .
中国专利 :CN113957441A ,2022-01-21
[20]
一种铜蚀刻液组合物及其应用 [P]. 
李恩庆 ;
谢一泽 ;
赵东 ;
李闯 ;
张红伟 ;
黄海东 ;
胡天齐 .
中国专利 :CN118895506A ,2024-11-05