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氧化铟锡溅射靶和使用该溅射靶制备的透明导电膜
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010532678.6
申请日：
2010-10-29
公开(公告)号：
CN102051587A
公开(公告)日：
2011-05-11
发明(设计)人：
姜信赫
崔畯皓
高榥庸
郑相澈
申请人：
申请人地址：
韩国庆尚北道
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1408
G02F11343
代理机构：
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：
陈万青;王珍仙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081907115 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2010105326786 申请日:20101029 |
| 2011-05-11 | 公开 | 公开 |
| 2014-09-17 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101705309265 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2010105326786 申请公布日:20110511 |