离子源恒流控制装置、方法以及离子源系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911417952.2

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN111176356B

公开(公告)日：

2020-05-19

发明(设计)人：

刘运鸿刘伟基冀鸣赵刚易洪波曾文华

申请人：

申请人地址：

528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室

IPC主分类号：

G05F146

IPC分类号：

G05D706 G05D2900 G05B1142 H01J2714

代理机构：

北京市立方律师事务所 11330

代理人：

刘延喜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-19	公开	公开
2020-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05F 1/46 申请日:20191231
2021-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

离子源、操作离子源的方法、以及离子源系统 [P].

木山俊昭 .

中国专利 :CN1461036A ,2003-12-10

[2]

离子源的电源控制方法、系统及离子源装置 [P].

冀鸣 ;

刘运鸿 ;

刘伟基 ;

范奕生 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN111933503B ,2020-11-13

[3]

离子源及离子源的运转方法 [P].

平井裕也 ;

松本武 .

中国专利 :CN109559963B ,2019-04-02

[4]

久保田尚树 ;

堀田哲广 .

中国专利 :CN1876894A ,2006-12-13

[5]

一种离子源装置及离子源系统 [P].

闫奎呈 ;

刘小波 ;

杨振 ;

陈龙保 ;

刘海洋 ;

郭颂 ;

胡冬冬 ;

石小丽 ;

许开东 .

中国专利 :CN118448236A ,2024-08-06

[6]

离子源温度控制装置 [P].

奎格·R·钱尼 ;

威廉·戴维斯·李 ;

奈尔·J·巴森 .

中国专利 :CN106575593B ,2017-04-19

[7]

一种离子源装置、离子源系统及其调试方法 [P].

胡冬冬 ;

杨振 ;

闫奎呈 ;

陈龙保 ;

刘海洋 ;

郭颂 ;

徐康宁 ;

许开东 .

中国专利 :CN118073157A ,2024-05-24

[8]

一种离子源外壳及离子源 [P].

张海飞 ;

范文明 ;

卓永生 ;

刘家湛 .

中国专利 :CN223108838U ,2025-07-15

[9]

离子源系统和离子束流系统 [P].

洪俊华 ;

陈炯 .

中国专利 :CN104299871B ,2015-01-21

[10]

一种离子源的电源系统及离子源 [P].

刁克明 .

中国专利 :CN107275176A ,2017-10-20

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