离子源及离子源的运转方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810725722.1

申请日：

2018-07-04

公开(公告)号：

CN109559963B

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

平井裕也松本武

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

黄艳;李琛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	公开	公开
2020-01-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20180704
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

久保田尚树 ;

堀田哲广 .

中国专利 :CN1876894A ,2006-12-13

[2]

离子源的电源控制方法、系统及离子源装置 [P].

冀鸣 ;

刘运鸿 ;

刘伟基 ;

范奕生 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN111933503B ,2020-11-13

[3]

离子源恒流控制装置、方法以及离子源系统 [P].

刘运鸿 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 .

中国专利 :CN111176356B ,2020-05-19

[4]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

中国专利 :CN111640639A ,2020-09-08

[5]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

日本专利 :CN111640639B ,2024-03-22

[6]

离子源温度控制装置 [P].

奎格·R·钱尼 ;

威廉·戴维斯·李 ;

奈尔·J·巴森 .

中国专利 :CN106575593B ,2017-04-19

[7]

微波离子源及其启动方法 [P].

高桥伸明 ;

村田裕彦 .

中国专利 :CN103996591B ,2014-08-20

[8]

射频离子源工作参数优化方法 [P].

唐瓦 ;

邓伟杰 ;

尹小林 ;

薛栋林 ;

张学军 .

中国专利 :CN108032145B ,2018-05-15

[9]

射频离子源高压控制装置 [P].

李树瑜 ;

王一梅 .

中国专利 :CN211267225U ,2020-08-14

[10]

用于离子源的液压供给系统 [P].

尼尔·巴森 ;

约书亚·阿比沙斯 ;

大卫·斯波德莱 ;

尼尔·科尔文 ;

约瑟夫·瓦林斯基 ;

迈克尔·克里斯托福罗 ;

弗拉迪米尔·罗曼诺夫 ;

普拉蒂帕·考瑞坎·苏布拉赫姆尼亚 .

美国专利 :CN118661240A ,2024-09-17

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