一种MOSFET晶圆临近颗粒测试方法及其测试电路

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专利类型
发明
申请号
CN202010310992.3
申请日
2020-04-20
公开(公告)号
CN111337812A
公开(公告)日
2020-06-26
发明(设计)人
王煜
申请人
申请人地址
710119 陕西省西安市西部大道170号丰泽科技园2号楼401室
IPC主分类号
G01R3126
IPC分类号
G01R2714
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种MOSFET晶圆临近颗粒测试方法及其测试电路 [P]. 
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[2]
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[4]
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[7]
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[8]
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[9]
一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法 [P]. 
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[10]
一种MOSFET测试电路 [P]. 
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