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终点检测方法和基板处理装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310285902.X
申请日：
2013-07-09
公开(公告)号：
CN103545228B
公开(公告)日：
2014-01-29
发明(设计)人：
神户乔史 藤井祐希
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01J37244
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2014-01-29 公开 公开
2018-01-26 授权 授权
2015-04-22 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101607518634 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:201310285902X 申请日:20130709
共 50 条
[1]
等离子体处理装置和终点检测方法 [P]. 
林雅一 .
日本专利 :CN119547188A ,2025-02-28
[2]
等离子体处理装置和终点检测方法 [P]. 
舆水地盐 ;
永井龙 .
日本专利 :CN120981896A ,2025-11-18
[3]
终点检测方法及终点检测装置 [P]. 
山下武志 ;
山口峰生 .
中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02
[4]
终点检测装置及终点检测方法 [P]. 
王坚 ;
贾照伟 ;
王晖 .
中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19
[5]
刻蚀终点检测方法及装置 [P]. 
常晓阳 ;
王新河 ;
林晓阳 ;
赵巍胜 .
中国专利 :CN114582699A ,2022-06-03
[6]
刻蚀终点检测方法及装置 [P]. 
常晓阳 ;
王新河 ;
林晓阳 ;
赵巍胜 .
中国专利 :CN114582700B ,2024-11-19
[7]
刻蚀终点检测方法及装置 [P]. 
常晓阳 ;
王新河 ;
林晓阳 ;
赵巍胜 .
中国专利 :CN114582699B ,2024-11-05
[8]
刻蚀终点检测方法及装置 [P]. 
常晓阳 ;
王新河 ;
林晓阳 ;
赵巍胜 .
中国专利 :CN114582700A ,2022-06-03
[9]
终点检测装置、蚀刻控制系统、终点检测方法以及记录介质 [P]. 
今西三千绘 ;
波田美耶子 ;
坂口有平 ;
南雅和 ;
高桥基延 .
日本专利 :CN120236980A ,2025-07-01
[10]
刻蚀终点检测方法 [P]. 
罗永坚 ;
张颂周 ;
任昱 ;
朱骏 ;
吕煜坤 ;
张旭升 .
中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04
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