一种高效的晶圆一次曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321917773.7

申请日：

2023-07-20

公开(公告)号：

CN220730626U

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

葛佳

申请人：

昆山臻欧特自动化工程有限公司

申请人地址：

215314 江苏省苏州市昆山市周市镇万安路385号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京中安信知识产权代理有限公司 11248

代理人：

赵黎虹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆用二次曝光机 [P].

葛佳 .

中国专利 :CN221039776U ,2024-05-28

[2]

一种晶圆曝光机 [P].

何海洋 ;

胡健峰 ;

彭强 .

中国专利 :CN210721014U ,2020-06-09

[3]

晶圆曝光机 [P].

林宪维 ;

张登富 ;

林澍 .

中国专利 :CN220381448U ,2024-01-23

[4]

晶圆曝光机 [P].

桑林 ;

苗文佳 .

中国专利 :CN208207505U ,2018-12-07

[5]

一种晶圆曝光机 [P].

邵金元 .

中国专利 :CN110554578A ,2019-12-10

[6]

晶圆曝光机及晶圆曝光方法 [P].

童立峰 ;

戴韫青 ;

王剑 .

中国专利 :CN111929994A ,2020-11-13

[7]

晶圆曝光机 [P].

桑林 ;

苗文佳 .

中国专利 :CN110320757A ,2019-10-11

[8]

一次配光平行曝光机 [P].

赖日阳 ;

赖华明 ;

王百年 .

中国专利 :CN210639421U ,2020-05-29

[9]

一种高效连续曝光机 [P].

刘保华 ;

徐小龙 ;

管燕彬 .

中国专利 :CN213780638U ,2021-07-23

[10]

晶圆曝光机及其无接触的晶圆曝光机的平整方法 [P].

林宪维 ;

张登富 ;

林澍 .

中国专利 :CN119310800A ,2025-01-14

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