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晶圆弹性应变测量装置、测量方法及晶圆键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810920342.3
申请日：
2018-08-14
公开(公告)号：
CN108987296B
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
郭帅
申请人：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址：
430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/18
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
董琳;陈丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 授权 | 授权 |