共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
利用聚焦的离子束制备横截面的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311492083.6
申请日：
2023-11-09
公开(公告)号：
CN118016525A
公开(公告)日：
2024-05-10
发明(设计)人：
S·博伊尔
申请人：
弗劳恩霍夫应用研究促进协会
申请人地址：
德国慕尼黑
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
郭毅
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/304申请日:20231109 |