一种晶圆研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322077114.3

申请日：

2023-08-03

公开(公告)号：

CN220296648U

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

黄红宋家伟陆海彪

申请人：

浙江天极集成电路技术有限公司

申请人地址：

314200 浙江省嘉兴市平湖市曹桥街道勤安路198号3号楼1层

IPC主分类号：

B24B7/22

IPC分类号：

B24B41/00 B24B55/00 B24B41/047 B24B47/12

代理机构：

嘉兴佳联专利代理事务所(普通合伙) 33507

代理人：

蓝霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆研磨装置 [P].

肖迪 ;

李文峰 ;

宫照磊 .

中国专利 :CN223406721U ,2025-10-03

[2]

一种晶圆研磨装置 [P].

王祖传 ;

陈兴红 ;

卢瑾 ;

高媛 ;

陈强 .

中国专利 :CN209565971U ,2019-11-01

[3]

一种晶圆研磨装置 [P].

卫明墅 .

中国专利 :CN215036464U ,2021-12-07

[4]

一种晶圆片研磨装置 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215394553U ,2022-01-04

[5]

晶圆研磨装置以及晶圆研磨设备 [P].

李光照 ;

陈慧新 ;

张一帆 .

中国专利 :CN119609909A ,2025-03-14

[6]

晶圆研磨装置及晶圆研磨方法 [P].

周庆亚 ;

李伟 ;

刘福强 ;

孟晓云 .

中国专利 :CN118456276A ,2024-08-09

[7]

一种晶圆研磨装置 [P].

黎阳 ;

柴能 .

中国专利 :CN222222231U ,2024-12-24

[8]

一种晶圆研磨装置 [P].

张佳浩 ;

洪嘉悦 ;

曾柏翔 ;

李瑞评 ;

杨胜裕 ;

孟乐 ;

刘聪毅 .

中国专利 :CN117532493A ,2024-02-09

[9]

一种晶圆研磨装置 [P].

郑彦威 .

中国专利 :CN216228745U ,2022-04-08

[10]

一种晶圆研磨装置 [P].

张佳浩 ;

洪嘉悦 ;

曾柏翔 ;

李瑞评 ;

杨胜裕 ;

孟乐 ;

刘聪毅 .

中国专利 :CN117532493B ,2025-12-12

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