复合衬底及其制作方法、GaN基外延结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311112506.7
申请日
2023-08-31
公开(公告)号
CN117364238A
公开(公告)日
2024-01-09
发明(设计)人
徐敏 马欢 葛永晖
申请人
华灿光电(苏州)有限公司
申请人地址
215600 江苏省苏州市张家港市经济开发区晨丰公路28号
IPC主分类号
C30B25/18
IPC分类号
C30B29/40 C23C16/50 C23C16/455 C23C16/56 C23C16/40 C23C16/06 H01L21/02 H01L29/778 H01L21/335
代理机构
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138
代理人
吕耀萍
法律状态
公开
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
GaN基外延结构及其制作方法 [P]. 
马欢 ;
房玉川 ;
徐敏 ;
吴志浩 .
中国专利 :CN117364237A ,2024-01-09
[2]
复合衬底结构及其制作方法 [P]. 
梁秉文 .
中国专利 :CN102820393A ,2012-12-12
[3]
GaN基发光器件制作方法及其器件结构 [P]. 
罗毅 ;
韩彦军 .
中国专利 :CN100364123C ,2005-12-14
[4]
Si衬底GaN基发光二极管外延片及其制作方法 [P]. 
孙玉芹 ;
王江波 ;
刘榕 .
中国专利 :CN103500777B ,2014-01-08
[5]
基于Si衬底的GaN外延结构及其制备方法 [P]. 
邓旭光 ;
张宝顺 ;
蔡勇 ;
范亚明 ;
付凯 ;
于国浩 ;
张志利 ;
孙世闯 ;
宋亮 .
中国专利 :CN106684139A ,2017-05-17
[6]
图形化衬底、外延片及其制作方法 [P]. 
王群 ;
郭炳磊 ;
葛永晖 ;
董彬忠 ;
李鹏 ;
王江波 .
中国专利 :CN108550673A ,2018-09-18
[7]
一种硅基PHEMT外延结构及其制作方法 [P]. 
麻胜恒 ;
汪连山 ;
吴义针 ;
孙文红 ;
陈福鑫 .
中国专利 :CN120129270A ,2025-06-10
[8]
一种退火剥离倒装SiC衬底GaN基LED的制作方法 [P]. 
吴德华 ;
朱学亮 ;
杨鑫沼 ;
曲爽 ;
李树强 ;
王成新 ;
徐现刚 .
中国专利 :CN101908587B ,2010-12-08
[9]
GaN基发光二极管的外延片及其制作方法 [P]. 
王群 ;
郭炳磊 ;
吕蒙普 ;
葛永晖 ;
胡加辉 ;
魏世祯 .
中国专利 :CN104022198A ,2014-09-03
[10]
柔性衬底及其制作方法、显示面板 [P]. 
李林霜 .
中国专利 :CN113354815A ,2021-09-07