水平ゲートオールアラウンドデバイスのナノワイヤの空隙スペーサ形成[ja]

被引:0
申请号
JP20180555683
申请日
2017-03-21
公开(公告)号
JP2019515494A
公开(公告)日
2019-06-06
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L29/41 H01L29/423 H01L29/49 H01L29/78 H01L29/786
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[5]
半導体デバイスの空隙スペーサを形成する方法および半導体デバイス[ja] [P]. 
NGUYEN SON VAN ;
YAMASHITA TENKO ;
CHENG KANGGUO ;
THOMAS JASPER HAIGH JR ;
PARK CHANRO ;
ERIC LINIGER ;
LI JUNTAO ;
SANJAY MEHTA .
日本专利 :JP2022140451A ,2022-09-26
[7]
ホワイトスヌースのパウチ用の生地[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023544953A ,2023-10-26