無水エッチングの方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20190564920

申请日：

2018-05-17

公开(公告)号：

JP2020522131A

公开(公告)日：

2020-07-27

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

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共 50 条

[1]

エッチング方法[ja] [P].

TONARI KAZUHIKO ;

ONO YOHEI ;

SON JINHYEOK ;

PARK JUN-CHANG ;

LEE HYUNHWA ;

BAE JINJU .

日本专利 :JP2025025807A ,2025-02-21

[2]

エッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018225661A1 ,2020-04-09

[3]

エッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020822A1 ,2019-05-09

[4]

酸化物層のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP6742720B2 ,2020-08-19

[5]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[6]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[7]

金属酸化物のエッチング方法[ja] [P].

TAKEDA KEIGO ;

HIRAMATSU MINEO .

日本专利 :JP2025022336A ,2025-02-14

[8]

積層体のエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023101962A ,2023-07-24

[9]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020054476A1 ,2020-10-22

[10]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP6700571B1 ,2020-05-27

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