一种自对准的碳化硅MOSFET器件及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310901094.9
申请日
2023-07-20
公开(公告)号
CN117316769B
公开(公告)日
2024-07-26
发明(设计)人
倪炜江 郝志杰
申请人
安徽芯塔电子科技有限公司
申请人地址
241000 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区芜湖科技产业园B3栋
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L29/78 H01L29/06
代理机构
北京知帆远景知识产权代理有限公司 11890
代理人
孙鑫
法律状态
实质审查的生效
国省代码
安徽省 芜湖市
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共 50 条
[1]
碳化硅MOSFET器件及其自对准制造方法 [P]. 
张跃 ;
陈谷然 ;
陈宇 ;
李士颜 ;
柏松 ;
黄润华 ;
杨勇 .
中国专利 :CN117711946A ,2024-03-15
[2]
碳化硅MOSFET器件及其自对准制造方法 [P]. 
张跃 ;
陈谷然 ;
陈宇 ;
李士颜 ;
柏松 ;
黄润华 ;
杨勇 .
中国专利 :CN117711946B ,2024-10-11
[3]
一种自对准的碳化硅MOSFET器件 [P]. 
许一力 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN222840000U ,2025-05-06
[4]
一种沟道自对准的碳化硅MOSFET器件的制备方法 [P]. 
葛欢 ;
李哲洋 ;
朱涛 ;
金锐 ;
孙俊敏 ;
常树丞 .
中国专利 :CN121099655A ,2025-12-09
[5]
一种具有自对准沟道的碳化硅MOSFET器件制备方法 [P]. 
刘坤 ;
刘杰 .
中国专利 :CN115101405A ,2022-09-23
[6]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
高云斌 ;
李诚瞻 ;
刘国友 ;
吴煜东 ;
史晶晶 ;
赵艳黎 .
中国专利 :CN104966735A ,2015-10-07
[7]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
温建功 ;
曹琳 ;
杨乐 ;
郑丽君 .
中国专利 :CN119497414B ,2025-04-22
[8]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
李诚瞻 ;
罗烨辉 ;
郑昌伟 ;
赵艳黎 ;
刘芹 ;
戴小平 .
中国专利 :CN114613674A ,2022-06-10
[9]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
温建功 ;
曹琳 ;
杨乐 ;
郑丽君 .
中国专利 :CN119497414A ,2025-02-21
[10]
一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
钟晓伟 .
中国专利 :CN109585564A ,2019-04-05