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半导体MEMS器件的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311053562.8
申请日：
2023-08-18
公开(公告)号：
CN116969412B
公开(公告)日：
2024-07-19
发明(设计)人：
林政勋
郭轲科
廖舜一
申请人：
无锡邑文微电子科技股份有限公司
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/02
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
杨勋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-19 | 授权 | 授权 |