基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380027577.9

申请日：

2023-03-13

公开(公告)号：

CN118891395A

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

广木勤金丸进悟

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

H01L21/31 H01L21/316 H01L21/318

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

吕琳;朴秀玉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	公开	公开
2024-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20230313

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

山口侑二 ;

折坂昌幸 ;

宫川纱希 .

日本专利 :CN115176335B ,2025-09-26

[2]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

禹在苑 .

日本专利 :CN113178387B ,2024-10-18

[3]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

禹在苑 .

中国专利 :CN113178387A ,2021-07-27

[4]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

李黎夫 ;

仓本纯弥 ;

荒卷昂 ;

辻本宏 .

中国专利 :CN114496705A ,2022-05-13

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

小川淳 ;

矢部和雄 .

中国专利 :CN107680896A ,2018-02-09

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤寿 ;

和村有 ;

长谷部一秀 ;

两角友一朗 .

日本专利 :CN119069330A ,2024-12-03

[7]

基板处理装置、基板处理方法以及基板处理设备 [P].

严基象 ;

朴岽云 ;

孙永俊 ;

李㥥滥 ;

崔晋镐 .

韩国专利 :CN118136548A ,2024-06-04

[8]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

韩国专利 :CN112201589B ,2024-04-05

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

小林信雄 ;

古川长树 ;

山崎克弘 ;

齐藤裕树 .

中国专利 :CN107275257A ,2017-10-20

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

中国专利 :CN112201589A ,2021-01-08

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