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一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411284875.9
申请日：
2024-09-13
公开(公告)号：
CN119162578B
公开(公告)日：
2025-06-20
发明(设计)人：
梁珂
徐锋
王宏宇
殷华
申请人：
天津派森新材料技术有限责任公司
申请人地址：
300457 天津市滨海新区开发区南港工业区港通路29号厂房6号
IPC主分类号：
C23F3/04
IPC分类号：
C09G1/02
代理机构：
北京中和立达知识产权代理有限公司 11756
代理人：
杨磊
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-20 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23F 3/04申请日:20240913 |
| 2024-12-20 | 公开 | 公开 |