一种用于碳化硅晶片的抛光设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411174355.2
申请日
2024-08-26
公开(公告)号
CN119175639B
公开(公告)日
2025-08-01
发明(设计)人
丁劲锋 刘念 莫玲莹 覃发超 华鸣峰
申请人
深圳市芯码龙电子科技有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区同富裕工业区7号B栋2楼204
IPC主分类号
B24B29/02
IPC分类号
B24B41/047 B24B41/06 B24B47/12 B24B47/22 B24B47/00 B24B41/00
代理机构
无锡华建知识产权代理事务所(普通合伙) 32767
代理人
孙建
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于碳化硅晶片的抛光设备 [P]. 
丁劲锋 ;
刘念 ;
莫玲莹 ;
覃发超 ;
华鸣峰 .
中国专利 :CN119175639A ,2024-12-24
[2]
一种用于碳化硅晶片的抛光设备 [P]. 
李旭明 ;
王锡铭 ;
付文川 ;
刘治洲 ;
王飞 ;
贾文欢 .
中国专利 :CN117340769A ,2024-01-05
[3]
一种用于碳化硅晶片的抛光设备 [P]. 
李旭明 ;
王锡铭 ;
付文川 ;
刘治洲 ;
王飞 ;
贾文欢 .
中国专利 :CN117340769B ,2024-02-23
[4]
碳化硅晶片抛光设备 [P]. 
张学良 ;
袁巨龙 ;
邓乾发 ;
杭伟 ;
王佳焕 .
中国专利 :CN115502870A ,2022-12-23
[5]
碳化硅晶片抛光设备 [P]. 
张学良 ;
袁巨龙 ;
邓乾发 ;
杭伟 ;
王佳焕 .
中国专利 :CN115502870B ,2025-04-29
[6]
一种碳化硅晶片的抛光工艺 [P]. 
林武庆 ;
张洁 ;
赖柏帆 ;
陈文鹏 .
中国专利 :CN108555700A ,2018-09-21
[7]
碳化硅晶片的抛光方法 [P]. 
蔡子萱 ;
施英汝 ;
杨咏皓 ;
吴伟立 .
中国专利 :CN114388347B ,2025-08-12
[8]
碳化硅晶片的抛光方法 [P]. 
蔡子萱 ;
施英汝 ;
杨咏皓 ;
吴伟立 .
中国专利 :CN114388347A ,2022-04-22
[9]
一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P]. 
贺贤汉 ;
章磊 ;
李有群 ;
陈辉 ;
孙大方 .
中国专利 :CN216504265U ,2022-05-13
[10]
一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P]. 
白欣娇 ;
李帅 ;
曾昊 ;
申硕 ;
崔素杭 .
中国专利 :CN211916473U ,2020-11-13