光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010944925.7

申请日：

2020-09-10

公开(公告)号：

CN112506002B

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

山口昇

申请人：

HOYA株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F1/38

IPC分类号：

G03F1/50 G03F1/58 G03F1/66 H01L21/027 H01L21/033

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

王博;褚瑶杨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[21]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

吉田光一郎 ;

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN113219782A ,2021-08-06

[22]

光掩模的制造方法、光掩模以及显示装置的制造方法 [P].

樋渡忠夫 ;

田中敏幸 .

中国专利 :CN102141726B ,2011-08-03

[23]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[24]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[25]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[26]

光掩模、光掩模组、光掩模及显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN105911812A ,2016-08-31

[27]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

日本专利 :CN109960105B ,2024-06-18

[28]

光掩模坯料、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113406855A ,2021-09-17

[29]

光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法 [P].

柳敏相 ;

裵囧洙 ;

金钟煜 ;

曹河铉 .

日本专利 :CN113253564B ,2025-09-02

[30]

光掩模坯料及光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

坪井诚治 ;

中村真实 .

中国专利 :CN109960105A ,2019-07-02

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