一种用于高密度封装芯片的缺陷检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510516486.2
申请日
2025-04-23
公开(公告)号
CN120427657A
公开(公告)日
2025-08-05
发明(设计)人
李维繁星 张春霞 王超群 盛道亮
申请人
弘润半导体(苏州)有限公司
申请人地址
215500 江苏省苏州市常熟市碧溪街道通港路58号10幢
IPC主分类号
G01N21/95
IPC分类号
G06N3/045 G06N3/08
代理机构
苏州前哨站知识产权代理事务所(普通合伙) 32858
代理人
刘坤
法律状态
实质审查的生效
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
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[3]
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[10]
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