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一种暗场散射晶圆表面缺陷检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510789724.7
申请日：
2025-06-13
公开(公告)号：
CN120594546A
公开(公告)日：
2025-09-05
发明(设计)人：
单洪瑞
申请人：
中国科学院自动化研究所
申请人地址：
100190 北京市海淀区中关村东路95号
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
代理机构：
广东远胜智和知识产权代理事务所(普通合伙) 44665
代理人：
刘锋
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-05 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250613 |