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一种晶圆位置检测装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310701127.5
申请日：
2023-06-13
公开(公告)号：
CN119132999B
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
赵海洋
陈路路
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651
代理人：
帅进军
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-13 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230613 |
| 2025-10-10 | 授权 | 授权 |