一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510071119.6
申请日
2025-01-16
公开(公告)号
CN119827427B
公开(公告)日
2025-09-26
发明(设计)人
陈修国 杨世龙 胡静 陈文龙 王逸夫 刘世元
申请人
华中科技大学
申请人地址
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
IPC主分类号
G01N21/21
IPC分类号
G01M11/02
代理机构
武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267
代理人
曹葆青
法律状态
授权
国省代码
湖北省 武汉市
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共 50 条
[1]
一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法 [P]. 
陈修国 ;
杨世龙 ;
胡静 ;
陈文龙 ;
王逸夫 ;
刘世元 .
中国专利 :CN119827427A ,2025-04-15
[2]
快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法 [P]. 
陈修国 ;
王鹏 ;
张劲松 ;
石雅婷 ;
刘世元 .
中国专利 :CN112378861A ,2021-02-19
[3]
一种光谱型椭偏仪椭偏角的校准方法 [P]. 
李锁印 ;
韩志国 ;
冯亚南 ;
梁法国 ;
赵琳 ;
许晓青 ;
吴爱华 .
中国专利 :CN106091952A ,2016-11-09
[4]
一种快照式椭偏测量方法及设备 [P]. 
陈修国 ;
陈文龙 ;
胡静 ;
杨世龙 ;
王逸夫 ;
刘世元 .
中国专利 :CN117368114A ,2024-01-09
[5]
琼斯椭偏仪的标定装置及方法 [P]. 
郁毅敏 ;
艾纳琵 ;
葛兰戈 ;
王健 .
中国专利 :CN112304873A ,2021-02-02
[6]
一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法 [P]. 
王健 ;
翟福琪 ;
陈蓉 ;
卢文龙 ;
周莉萍 .
中国专利 :CN113777049A ,2021-12-10
[7]
一种基于椭偏仪的光谱匹配校准方法 [P]. 
李伟奇 ;
颜凡 ;
陈军 ;
石雅婷 ;
郭春付 ;
张传维 .
中国专利 :CN114384017A ,2022-04-22
[8]
一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P]. 
修鹏 ;
徐文斌 ;
陈伟力 ;
郑崇 ;
李军伟 .
中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12
[9]
一种带Mapping功能的光谱椭偏仪 [P]. 
姚凌飞 ;
田晶晶 ;
何丽 ;
陈志润 .
中国专利 :CN222259143U ,2024-12-27
[10]
一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪 [P]. 
薛鹏 ;
谢大洋 ;
张瑞 ;
刘政杰 ;
李孟委 .
中国专利 :CN114894311B ,2025-02-07