学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

背面金属格栅的硬掩膜的刻蚀方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510058412.9
申请日：
2025-01-14
公开(公告)号：
CN119947287B
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
张守龙 任婷婷 姚道州 杨鑫 杜保田 汪健 惠科石 王玉新 赵正元
申请人：
华虹半导体（无锡）有限公司
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号：
H10F39/18
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
崔莹
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 无锡市
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-26 授权 授权
2025-05-23 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H10F 39/18申请日:20250114
2025-05-06 公开 公开
共 50 条
[1]
背面金属格栅的硬掩膜的刻蚀方法 [P]. 
张守龙 ;
任婷婷 ;
姚道州 ;
杨鑫 ;
杜保田 ;
汪健 ;
惠科石 ;
王玉新 ;
赵正元 .
中国专利 :CN119947287A ,2025-05-06
[2]
金属硬掩膜刻蚀方法 [P]. 
张宇 ;
黄亚辉 ;
贺小明 ;
刘钊成 .
中国专利 :CN112687537A ,2021-04-20
[3]
金属硬掩膜刻蚀方法 [P]. 
张宇 ;
黄亚辉 ;
贺小明 ;
刘钊成 .
中国专利 :CN112687537B ,2024-05-17
[4]
硬掩膜层刻蚀方法 [P]. 
齐龙茵 ;
奚裴 .
中国专利 :CN101777493A ,2010-07-14
[5]
一种金属硬掩膜层的刻蚀方法 [P]. 
吴志刚 ;
秦凡凯 .
中国专利 :CN120767202A ,2025-10-10
[6]
硬掩膜刻蚀方法及刻蚀设备 [P]. 
裴凯 ;
王晓雯 ;
王兆祥 ;
梁洁 ;
王文渊 ;
刘少康 .
中国专利 :CN120809574B ,2025-11-21
[7]
硬掩膜刻蚀方法及刻蚀设备 [P]. 
裴凯 ;
王晓雯 ;
王兆祥 ;
梁洁 ;
王文渊 ;
刘少康 .
中国专利 :CN120809574A ,2025-10-17
[8]
金属硬掩膜及其制备方法和刻蚀方法 [P]. 
黄耀贤 ;
黄俊宪 .
中国专利 :CN119153326A ,2024-12-17
[9]
金属格栅的硬掩模层的刻蚀方法 [P]. 
任婷婷 ;
姚道州 ;
杨鑫 ;
杜保田 ;
王华勇 ;
陈诺 ;
惠科石 ;
王玉新 .
中国专利 :CN120302738A ,2025-07-11
[10]
金属格栅的硬掩模层的刻蚀方法 [P]. 
任婷婷 ;
姚道州 ;
杨鑫 ;
杜保田 ;
王华勇 ;
陈诺 ;
惠科石 ;
王玉新 .
中国专利 :CN120302739A ,2025-07-11
12345