一种晶圆减薄可调式承载平台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423058663.7

申请日：

2024-12-11

公开(公告)号：

CN223492867U

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

龚胜杨宏亮胡天陈逢军

申请人：

合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司

申请人地址：

230093 安徽省合肥市高新区望江西路4715号沪浦工业园2栋2层

IPC主分类号：

B24B19/22

IPC分类号：

B24B41/02 B24B55/04 B24B41/06 B24B47/12 H01L21/67 H01L21/687

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

张中

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223685021U ,2025-12-19

[2]

晶圆减薄结构 [P].

施建根 .

中国专利 :CN203733801U ,2014-07-23

[3]

晶圆减薄设备 [P].

周至军 ;

高英哲 ;

张文福 ;

吕慧超 .

中国专利 :CN209766373U ,2019-12-10

[4]

晶圆减薄装置 [P].

吴俊逸 ;

沈凌寒 .

中国专利 :CN220740470U ,2024-04-09

[5]

一种晶圆减薄装置 [P].

常诚 .

中国专利 :CN223012765U ,2025-06-24

[6]

一种晶圆减薄设备 [P].

王瑞斌 .

中国专利 :CN216228605U ,2022-04-08

[7]

一种晶圆减薄设备 [P].

王韦杰 .

中国专利 :CN218051747U ,2022-12-16

[8]

一种晶圆减薄机 [P].

洪志清 ;

李健飞 .

中国专利 :CN220783258U ,2024-04-16

[9]

一种晶圆减薄装置 [P].

赵永华 ;

关均铭 ;

王焓宇 .

中国专利 :CN212859971U ,2021-04-02

[10]

一种晶圆减薄装置 [P].

付强 ;

陈宁 ;

刘大伟 ;

梁永聪 ;

马宇宙 ;

周四军 ;

邓捷 .

中国专利 :CN223186291U ,2025-08-05

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