化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520102298.0

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN223674734U

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

王树林李鹏飞袁运辉李阳阳

申请人：

浙江晶盛光子科技有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C18/32

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘臣刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN222923231U ,2025-05-30

[2]

一种喷淋机构及化学气相沉积设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

鲁冲昊 ;

朱亿江 .

中国专利 :CN222008178U ,2024-11-15

[3]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[4]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[5]

化学气相沉积设备 [P].

胡昌义 ;

雷春明 ;

毛勇 ;

郭锦新 ;

李靖华 ;

周世平 ;

徐云 ;

王云 ;

欧阳远良 .

中国专利 :CN2851277Y ,2006-12-27

[6]

化学气相沉积设备 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275883U ,2024-07-05

[7]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223176201U ,2025-08-01

[8]

化学气相沉积设备 [P].

丁欣 .

中国专利 :CN209010598U ,2019-06-21

[9]

化学气相沉积设备 [P].

艾青南 ;

周贺 ;

胡青飞 .

中国专利 :CN103924217A ,2014-07-16

[10]

化学气相沉积设备 [P].

陈雄博 ;

罗光林 .

中国专利 :CN203049032U ,2013-07-10

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