化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520102298.0

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN223674734U

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

王树林李鹏飞袁运辉李阳阳

申请人：

浙江晶盛光子科技有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C18/32

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘臣刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	授权	授权

共 50 条

[31]

化学气相沉积设备 [P].

朱人伟 ;

杨军 ;

朱瑶 ;

胡万春 .

中国专利 :CN222250974U ,2024-12-27

[32]

化学气相沉积设备 [P].

张祥来 ;

李相琝 .

中国专利 :CN101591774A ,2009-12-02

[33]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074615A ,2013-05-01

[34]

化学气相沉积设备 [P].

叶致宏 ;

李宗霖 ;

林艺民 ;

杨胜钧 ;

曾同庆 .

中国专利 :CN109763115A ,2019-05-17

[35]

化学气相沉积设备 [P].

李丙科 .

中国专利 :CN305619181S ,2020-02-18

[36]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN1302152C ,2002-10-23

[37]

化学气相沉积设备 [P].

張珉碩 .

中国专利 :CN118835219A ,2024-10-25

[38]

化学气相沉积设备 [P].

陈五奎 ;

任陈平 ;

李文江 .

中国专利 :CN301589889S ,2011-06-22

[39]

化学气相沉积设备 [P].

布莱恩·H·布尔洛斯 ;

罗纳德·史蒂文斯 ;

雅各布·格雷森 ;

约书亚·J·帕德斯塔 ;

萨迪普·尼哈万 ;

劳瑞·D·华盛顿 ;

亚历山大·泰姆 ;

苏玫德·阿凯亚 .

中国专利 :CN102498557A ,2012-06-13

[40]

化学气相沉积设备 [P].

仰卫 .

中国专利 :CN107435141A ,2017-12-05

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