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化学气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202520102298.0
申请日：
2025-01-16
公开(公告)号：
CN223674734U
公开(公告)日：
2025-12-16
发明(设计)人：
王树林
李鹏飞
袁运辉
李阳阳
申请人：
浙江晶盛光子科技有限公司
申请人地址：
311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室
IPC主分类号：
C23C16/44
IPC分类号：
C23C18/32
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
刘臣刚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-16 | 授权 | 授权 |