一种旋转机构及半导体外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520272988.0

申请日：

2025-02-20

公开(公告)号：

CN223680094U

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

蒋杰龚赛陆波沈宇晨王超杨振域杜金生郝小辉

申请人：

中环领先半导体科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

C30B25/12 C30B23/02 H01L21/67

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体外延设备的尾气收集机构及半导体外延设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN222024561U ,2024-11-19

[2]

半导体外延设备 [P].

刘俊 ;

邢超 ;

李兵 ;

王伟 .

中国专利 :CN222214127U ,2024-12-20

[3]

半导体外延设备中的反应腔室及半导体外延设备 [P].

邹传巍 .

中国专利 :CN111501098B ,2020-08-07

[4]

半导体外延基座和半导体外延设备 [P].

李伟 ;

王剑伟 ;

周华 .

中国专利 :CN120099633A ,2025-06-06

[5]

托盘的旋转支撑结构及半导体外延设备 [P].

傅时梁 ;

姚刚 .

中国专利 :CN222139263U ,2024-12-10

[6]

半导体外延设备 [P].

王占柱 ;

常依斌 ;

李刚 .

中国专利 :CN301484009S ,2011-03-16

[7]

一种晶圆旋转支撑结构和半导体外延设备 [P].

刘自强 ;

燕春 ;

杨进 .

中国专利 :CN215815830U ,2022-02-11

[8]

半导体外延设备（MOCVD设备） [P].

王涛 .

中国专利 :CN309335870S ,2025-06-13

[9]

一种外延片及半导体外延器件 [P].

闫其昂 ;

王国斌 .

中国专利 :CN217822838U ,2022-11-15

[10]

一种衬套组件及半导体外延设备 [P].

刘自强 ;

罗建 .

中国专利 :CN119050004A ,2024-11-29

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