CONDUCTION IN N+-I-N+ THIN-FILM POLYCRYSTALLINE SILICON DEVICES IN RELATION TO THE FILM DEPOSITION CONDITIONS

被引:8
作者
DIMITRIADIS, CA [1 ]
PAPADIMITRIOU, L [1 ]
STOEMENOS, J [1 ]
ECONOMOU, NA [1 ]
MEAKIN, DB [1 ]
COXON, PA [1 ]
机构
[1] GEC RES LTD,HIRST RES CTR,WEMBLEY HA9 7PP,MIDDX,ENGLAND
关键词
D O I
10.1063/1.340015
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1104 / 1110
页数:7
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