STRUCTURAL CHARACTERISTICS OF RADIATION-DAMAGE PRODUCED BY HIGH-ENERGY (2.7 MEV) ION-IMPLANTATION IN GAAS

被引:5
作者
NARAYANAN, GH
SPITZER, WG
机构
关键词
D O I
10.1007/BF00808057
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页数:11
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