EFFECT OF SUBSTRATE-TEMPERATURE ON MIGRATION OF SI IN PLANAR-DOPED GAAS

被引:75
作者
SANTOS, M
SAJOTO, T
ZRENNER, A
SHAYEGAN, M
机构
关键词
D O I
10.1063/1.100225
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2504 / 2506
页数:3
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