CHARACTERIZATION OF PROPERTIES OF NICKEL IN SILICON USING THERMALLY STIMULATED CAPACITANCE METHOD

被引:12
作者
CHIAVAROTTI, G
CONTI, M
MESSINA, A
机构
[1] SGS ATES,PHYS GRP,CASTELLETTO SETTIMO MILANESE,MILANO,ITALY
[2] SIT SIEMENS,CASTELLETTO SETTIMO MILANESE,MILANO,ITALY
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(77)90012-0
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:907 / 909
页数:3
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