ELECTRICAL PROPERTIES OF EPITAXIAL SILICON FILMS ON ALPHA-ALUMINA

被引:24
作者
HART, PB
ETTER, PJ
JERVIS, BW
FLANDERS, JM
机构
来源
BRITISH JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1967年 / 18卷 / 10期
关键词
D O I
10.1088/0508-3443/18/10/303
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:1
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