氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

被引：10

作者：

马丙现

姚宁

杨仕娥

鲁占灵

樊志勤

张兵临

机构：

[1] 郑州大学物理工程学院

来源：

物理学报 | 2004年 / 07期

关键词：

化学气相沉积; 金刚石薄膜; 拉曼光谱; 强化刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜 .在制备过程中 ,通过间歇式关闭甲烷气体 ,强化了氢对sp2 杂化碳原子的刻蚀 .用拉曼光谱和金相显微镜对薄膜进行了分析表征 .结果表明 ,氢对sp2 杂化碳原子的强化刻蚀并未影响金刚石薄膜的品质和微观结构 .这一结论说明 ,在金刚石薄膜中 ,sp2 杂化碳原子主要存在于金刚石晶粒表面和晶界碳原子之间 ,而不是以石墨或无定形碳颗粒为主要存在方式 .

引用

页码：2287 / 2291

页数：5

共 6 条

[1] 离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响 [J].