TiN/Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究

被引：12

作者：

龚海飞

邵天敏

张晨辉

徐军

机构：

[1] 清华大学摩擦学国家重点实验室

来源：

无机材料学报 | 2008年 / 04期

关键词：

TiN/Ti; 多层膜; 层状结构; 摩擦磨损;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB302.3 [机械试验法];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

考察了TiN/Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN/Ti多层膜,用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析.用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法,对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验.结果表明,所制备的TiN/Ti多层膜层状结构清晰,与基底结合良好,调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大,而对摩擦系数的影响却不明显.结合实验结果,讨论了硬度与弹性模量的比值(H/E值)对TiN/Ti多层膜耐磨性的影响.

引用

页码：758 / 762

页数：5

共 8 条

[1] 中频对靶磁控溅射合成TiN／Ti多层膜 [J].